Transportador de wafer de grafite para processamento de semicondutores
Os transportadores de wafer de grafite são componentes usinados com precisão usados em equipamentos de fabricação de semicondutores para reter e transportar wafers de silício durante etapas de processamento de alta temperatura, como difusão, CVD e epitaxia.
Feitos de grafite isostática de alta pureza com excelente estabilidade térmica e baixa contaminação, nossos transportadores de wafer garantem processamento de wafer plano e consistente em temperaturas de até 1200°C.
Principais recursos
- Material de grafite de alta pureza com baixas impurezas metálicas
- Bolsos usinados com precisão para alinhamento preciso do wafer
- Excelente estabilidade térmica em altas temperaturas
- Baixa liberação de gases em ambientes de vácuo e gás de processo
- Tamanhos e configurações de bolso personalizados disponíveis
- Opção de revestimento SiC para maior vida útil
Aplicativos
- Fornos de difusão de semicondutores
- Equipamento de processamento de CVD e PVD
- Crescimento de wafer epitaxial
- Fabricação de células solares fotovoltaicas
Por que escolher Jincheng
- 15 anos de experiência em componentes semicondutores de grafite
- Fabricação em sala limpa para baixa contaminação
- Serviço de design personalizado de acordo com os requisitos do seu equipamento
- Preços competitivos e entrega rápida
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